超纯水系统是指从原水到超纯水的完整生产系统。一般来说，超纯水系统是由多次过滤、离子交换、除气、反渗透、紫外线、超滤、纳米率和离子吸附过滤产生的超纯水。

　　一、超纯水系统工艺流程

　　1): 预处理-反渗透-纯化水箱-离子交换器-紫外线-纯水泵-水点

　　2): 预处理-一级反渗透-二级反渗透(正电荷反渗透膜)-纯水箱-纯水泵-紫外线-水点

　　3): 预处理-反渗透-中间水箱-中间水泵-ED装置-纯水箱-纯水泵-紫外线-水点

　　4): 预处理→紫外线杀菌装置→一级RO装置→二级RO装置→中间水箱→EDI装置→脱氧装置→氮封纯水箱→除TOC UV装置→抛光混床→超滤装置→用水点

　　水质符合美国ASTM标准，电子部超纯水质标准(18MMΩ*cm，15MΩ*cm，2MΩ*cm和0.5MΩ*cm四级)

　　二、超纯水系统反渗透（膜分离）法超纯水制造技术

　　反渗透是用足够的压力将溶液中的溶剂（通常是指水）通过反渗透膜（半透膜）分离出来，方向与渗透方向相反，可以用大于渗透压的反渗透方法分离、净化和浓缩溶液。反渗透膜的主要分离对象是溶液中的离子范围。

　　超纯水系统特点：

　　①无需加热，无相变；

　　②能耗低；工艺连续稳定；

　　③设备体积小，操作简单，适应性强；

　　④不污染环境。

　　一级反渗透

　　经过粗滤的水再经反渗透膜为一级反渗透膜，反渗透膜为半透膜，可防止Ga2+、Mg2+，Fe-2 ，SO4-2，Cl-1，Na+当大离子通过时，为了保证反渗透效果和反渗透膜的保护，必须不断向反渗透容器添加阻垢剂，水温必须在25℃以上（冬季使用蒸汽换热器），保证一定的水压，（使用立泵）在一定压力下，含离子水通过反渗透膜挤压，形成两种水，所有通过反渗透膜的水，即成品水进入下一个环节，未经反渗透膜的水排出，经过一次反渗透处理的水进入下一个环节——二次反渗透。

　　二次反渗透的原理与一次反渗透相同，其作用是进一步去除水中的盐分，(Ga2+，Mg2+，Fe-2 ，SO4-2，Cl-1，Na+等离子体)使水质进一步提高，二次反渗透后，水质电导率可接近1MΩ.CM。经过一、二次反渗透预处理后，保留水成为EDI供水，未经反渗透膜的水（浓水）及时排出，比例一般为1：3、即每生产一吨合格水，就要排出3吨左右的浓水(中水)。