超纯水设备

　　适用范围：电子元件、集成电路、半导体材料、液晶显示器等生产用超纯水。
　　工艺流程：原水→原水箱→原水泵→机械过滤器→活性炭过滤器→阻垢/软化装置→保安过滤器→高压泵→反渗透→纯水箱→输送泵→混床/EDI→紫外除TOC→超纯化→紫外杀菌→终端过滤→用水点→循环回纯水箱
　　产水水质：电子级超纯水中国国家标准（GB/T11446.1-1997）
　　工艺说明：
　　1、机械过滤器
　　主要用于去除水中铁锈、泥沙、藻类、悬浮物等杂质，降低水的浊度，使出水浊度小于0.5NTU，CODMN小于1.5mg/L，含铁量小于0.05mg/L，SDI≤5。可通过控制阀随时进行反洗、正洗，以冲洗掉其表面的污物，防止其堵塞，恢复其过滤能力。
　　2、活性碳过滤器
　　活性炭具有极强的吸附过滤性能，对水中的余氯、异色、异味、有机物等具有很强的吸附作用。由于反渗透膜对余氯、有机物十分敏感，所以必须配置活性炭吸附余氯、有机物，使出水余氯≤0.1mg/L，SDI≤4，满足反渗透膜的给水要求。可通过随时控制阀进行反洗，以冲洗掉其表面的污物，防止其堵塞，恢复其处理能力。
　　3、阻垢装置（软化器）
　　几mg/L的阻垢剂就能防止几百mg/L的碳酸钙沉淀析出。其作用机理是阻垢剂在水中生成的长链的阴离子容易吸附在微小的碳酸钙晶粒上，同时这种阴离子易于和CO32¬-的离子置换,这种置换发生在分散于水中的全部钙离子层上,从而防止了碳酸钙的析出。采用美国米顿罗计量泵自动加药，计量准确、加药可靠。加药量约为3PPM。
　　目前在纯水系统中大部分都采用阻垢装置，因为阻垢装置比软化器更可靠，同时运行费用低。
　　4、保安过滤器
　　在预处理后，高压泵前配置保安过滤器，可以防止杂质颗粒等进入高压泵内而损伤高压泵和反渗透膜。采用外松内紧式的PP滤芯（带骨架、强度好），水由外向内过滤，可以延长滤芯被堵塞的时间。上部具有排气阀，可以防止空气进入泵而损坏泵，下部具有排污阀，可以随时排掉截留的杂质。
　　5、反渗透装置
　　反渗透技术是目前市场上比较成熟的一种脱盐技术，也是市场应用比较广泛、适用范围比较大的水处理技术之一。能精密的滤除水中的细菌、病毒、金属离子、盐类、农药及各种致癌物质，其工作压力低、产水量大、脱盐率高，易于维护。设计自动冲洗装置，可延长其使用寿命。
　　6、混床装置（EDI装置）
　　就是将强酸型阳树脂、强碱型阴树脂按一定比例均匀混合在一起，用来去除水中残余的阴、阳离子，而树脂交换下来上的H+、OH-讯速结合成水，达到纯化水的目的。当其失效后，可通过配置的再生装置进行处理，然后恢复其交换能力。
　　现在新工艺采用EDI装置比较多，EDI及连续电去离子，可代替混床产超纯水，其技术先进，不需酸碱再生，但一次性成本相对较高。
　　7、紫外除TOC
　　采用185nm波长的紫外线，氧化纯水中的有机化合物，从而可将纯水中的总有机碳浓度降低至极低水平。
　　8、超纯化装置
　　就是采用特殊的离子抛光技术来去除水中残余的阴、阳离子，从而使出水电阻达到18.25MΩ•CM以上。
　　9、紫外杀菌器
　　采用254nm长紫外线杀菌，其寿命长，杀菌效果好，而且其功耗小、不污染水质，无残留物，管道式安装方便。是目前市场上比较先进、有效的杀菌方法之一。
　　10、终端过滤器
　　根据需要采用相应孔径为的微孔滤膜，把微生物及颗粒物去除掉，保证给水无菌、无颗粒物，满足电子用水要求。